根据相干合成的原理，建立了三路矩形光束相干合成的数学仿真模型，根据数学模型编写了仿真程序；模拟计算了1～21阶泽尼克像差下，单路矩形光束和三路矩形拼接光束的波像差与光束质量β因子关系的拟合系数；建立了波像差与β因子关系的计算表达式。